真空泵的汽蝕過程，簡而言之就是在真空泵中產(chǎn)生氣泡和氣泡破裂，使過流部件遭受到破壞的過程。
真空泵產(chǎn)生汽蝕后，除了對過流部件產(chǎn)生破壞作用，還會產(chǎn)生噪聲和振動并導(dǎo)致真空泵的性能下降，嚴重時會使真空泵中的液體中斷，不能正常工作。
水環(huán)式真空泵的汽蝕損壞都是在氣泡產(chǎn)生和破裂的部位，金屬表面出現(xiàn)點蝕現(xiàn)象，嚴重的會出現(xiàn)蜂窩狀損壞。如果水環(huán)式真空泵的葉輪在汽蝕部位有較大的殘余應(yīng)力，還會引起應(yīng)力釋放，產(chǎn)生裂紋。
由于水環(huán)式真空泵汽蝕時氣泡在高壓區(qū)連續(xù)發(fā)生突然破裂，以及伴隨著強烈水擊產(chǎn)生的噪聲和振動，可以聽到像爆豆似的劈劈啪啪的聲音。
如果上述氣泡在水環(huán)式真空泵的金屬表面上破裂，金屬表面將受到連續(xù)強烈的水擊，從而出現(xiàn)麻點，金屬晶粒松動并剝落而成蜂窩狀甚至穿孔。汽蝕破壞除機械作用外，還伴隨著電解、化學腐蝕等多種復(fù)雜的作用。
實際破壞效果表明，水環(huán)式真空泵過流部件汽蝕破壞的部位，正是氣泡消失的地方。水環(huán)式真空泵需要用液體作為工作介質(zhì)。
每種液體在某一溫度下都有對應(yīng)的飽和蒸汽壓。
①當水環(huán)式真空泵吸入?yún)^(qū)域的絕對壓力越接近液體的飽和蒸汽壓時，液體越接近沸騰狀態(tài)。這時，水環(huán)式真空泵在吸入?yún)^(qū)域的工作液表面會產(chǎn)生大量的氣泡，由于液體在水環(huán)式真空泵工作腔內(nèi)產(chǎn)生的工作液蒸汽會占據(jù)部分工作腔的空間，水環(huán)式真空泵對外的吸氣能力會有所下降。
②當水環(huán)式真空泵吸入?yún)^(qū)域的壓力達到工作液的飽和蒸汽壓時，可以認為水環(huán)式真空泵工作腔內(nèi)全部充滿了工作液蒸汽，此時水環(huán)式真空泵對外的吸氣能力接近于零，而此時水環(huán)式真空泵的汽蝕現(xiàn)象也zui為嚴重。
如果水環(huán)式真空泵的工作液是水，水溫越高，水環(huán)式真空泵的抽氣性能下降越多。
水環(huán)真空泵的水溫對其性能影響較大，而水環(huán)真空泵的性能曲線均為在15℃的水溫條件下測的，因此在實際選用水環(huán)真空泵時，應(yīng)對水環(huán)真空泵的抽氣速率進行修正。
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